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产品名称:供气系统
质量流量供气系统用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,结合我公司的管式炉,可用作CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定(含采购商ISO14000环境体系要求),不会造成环境污染;
该产品符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求,不会对接触产品的人员健康造成损害!
主要特点:精度高、运作稳定可靠、工作压力范围宽(可在高压或真空条件下工作)、操作使用方便

可根据客户要求特殊订制 
型号        标准量程 
GSL-2Z 100sccm、200sccm 
GSL-3Z 100sccm、200sccm、500sccm 
GSL-4Z 100sccm、200sccm、200sccm、500sccm 
质量流量控制器 

工作电压:185-245V/50HZ 
工作温度:5-45℃ 
工作压强:3×106Pa 
最大输出功率:18W 
准确度:±1%FS 
线性:±0.5~1.5% 
重复精度:±0.2% 
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 
工作压差范围:0.1~0.5 MPa 
机械压力表 
量程范围:-0.1-0.15MPa(0.01MPa/grid) 
针阀:316不锈钢 
管件:不锈钢1/4〞,尼龙管L12〞 ID 1/4〞 
气体混料罐:Φ80×120mm 
截止阀:316不锈钢针阀Φ1/4〞 
产品规格: 容积:600×600×650mm

脚注信息

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