名称

加热型紫外臭氧清洗机--PCE-22

主要参数

·功率：最大350W

·AC 208~240V，单相 50/60Hz

应用

·去除分子级别的污染物

·紫外光固化粘合剂

·紫外光催化

·氧化PDMS

·表面消毒

·刻蚀

·清洗MEMS 器件

·清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

紫外灯

·可发出双波长的水银灯

·功率：55W

·发出光的波长：254 nm 和 185 nm

·使用寿命：2500 小时（可更换）

·照射区域：200 x 200 mm

腔体&样品台

·不锈钢壳体

·抽屉式样品台，以便放样取样

·样品台面积310 mm x 320 mm

·臭氧通风装置安装在腔体上

·样品台与紫外灯的距离：20mm-40mm（可调）

·样品台可以加热，最高温度可达150℃

·可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃

·设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时

排气口

·直径为80mm的排气口安装在仪器后端

·请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

·仪器中不包含橡胶管

环境要求

·仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内

·温度范围：41-104华氏度

·最大相对湿度80％，最高87华氏度，104华氏度线性降至50％相对湿度

·主电源波动不超过额定电压的10％

·污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重

28kg

认证

CE认证