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产品名称:加热型紫外臭氧清洗机
PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

名称

加热型紫外臭氧清洗机--PCE-22

 

 

主要参数

 

·功率:最大350W

 

·AC 208~240V,单相 50/60Hz

 

 

 

 

 

 

 

 

 

应用

 

·去除分子级别的污染物

 

·紫外光固化粘合剂

 

·紫外光催化

 

·氧化PDMS

 

·表面消毒

 

·刻蚀

 

·清洗MEMS 器件

 

·清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

 

 

 

 

紫外灯

 

·可发出双波长的水银灯

 

·功率:55W

 

·发出光的波长:254 nm 和 185 nm

 

·使用寿命:2500 小时(可更换)

 

·照射区域:200 x 200 mm

 

 

 

 

 

 

 

腔体&样品台

 

·不锈钢壳体

 

·抽屉式样品台,以便放样取样

 

·样品台面积310 mm x 320 mm

 

·臭氧通风装置安装在腔体上

 

·样品台与紫外灯的距离:20mm-40mm(可调)

 

·样品台可以加热,最高温度可达150℃

 

·可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃

 

·设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

 

 

排气口

 

·直径为80mm的排气口安装在仪器后端

 

·请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外

 

·仪器中不包含橡胶管

 

 

 

 

 

 

环境要求

 

·仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内

 

·温度范围41-104华氏度

 

·最大相对湿度80%,最高87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度

 

·主电源波动不超过额定电压的10%

 

·污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb

 

 

 

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重

28kg

认证

CE认证

下一个: 静电纺丝机
脚注信息

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