网站标志
搜索
全国咨询热线:

029-89334672


联系我们

销售热线:029-89334672          

QQ/微信:124740084  2606824883

邮箱:hefeikejingxian@163.com

当前位置
产品分类
产品详情
产品名称:双管滑动式1200℃四通道混气CVD系统
OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。
  • 双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。

  • 双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.

  • 四通道质量流量计控制4路气体。

  • 配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。  

  • 炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温.

    • 加热区长度: 440mm

    • 恒温区长度: 120mm (±1°C) @400~1100° 

    • 选择:双温区炉可获得t 240mm 的恒温区

    • 石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
            内管:     OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1500 mm )

    • 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。控温精度: +/-1°C
      • 4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.

      • MFC 1范围:  0~100 sccm

      • MFC 2范围:  0~200 sccm 

      • MFC 3范围:  0~200 sccm

      • MFC 4范围:  0~500 sccm 气路: 4 

      • 流量精度: 0.2%

      • 进气和出气接口: 1/4" 卡套

      • 一个混气罐.

      • 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  

      • 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量请看下图

  •  

下一个: 没有了
脚注信息

西安莱安工贸有限公司(c) COPYRIGHT 2019 . ALL RIGHTS RESERVED 

二维码
 

西安莱安工贸有限公司


销售热线:029-89334672          

QQ/微信:124740084  2606824883

邮箱:hefeikejingxian@163.com

地址:西安市东二环南段1号


关注微信号
关注微信号

在线
客服

在线客服服务时间:9:00-24:00

选择下列客服马上在线沟通:

客服
热线

029-89334672
7*24小时客服服务热线

关注
微信

微信咨询